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真空熱處理是指在真空中進行的材料加熱、保溫和冷卻等過程，以實現材料的特殊性能改善。與常規的熱處理的相比, 它的主要特點是: 將工件放在密閉的爐子內進行淬火 、回火的稱為密封式高溫氣體循環法 。一般多采用在氣氛保護下的滲碳或氧化脫氧法制成零件要求的表面層及外層的形狀尺寸(例如齒輪)。
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